- ▸Độ phẳng mặt vòng đệm thường là 0,0009 mm (trong phạm vi 3 vạch sáng dưới ánh sáng đơn sắc He-Ne) — khoảng hai bậc độ chính xác cao hơn so với một phôi mài ráp thô
- ▸Chuỗi quy trình gồm ba giai đoạn: mài ráp thô định hình hình học (loại bỏ 0,1-0,5 mm), mài ráp tinh đạt độ phẳng, đánh bóng giảm độ nhám xuống lớp Ra 0,1-0,2 μm
- ▸Đĩa mài bằng gang chiếm ưu thế trong mài ráp tinh than chì carbon; đĩa có rãnh giúp phân phối bùn mài và loại bỏ phoi
- ▸Bùn mài và chất mài mòn (SiC hoặc bột kim cương siêu mịn) được tinh chế từng bước, kết thúc ở cấp độ W1-W3
- ▸Độ phẳng được kiểm tra bằng đĩa quang học dưới ánh sáng đơn sắc bằng cách đếm vạch sáng, và biến dạng vạch phải được đọc là lồi hay lõm
- ▸Môi trường làm việc đảm bảo dữ liệu đáng tin cậy: kiểm soát nhiệt độ và quy trình vệ sinh nghiêm ngặt là điều kiện tiên quyết để đạt 0,0009 mm
Mặt vòng đệm là bề mặt có độ chính xác cao nhất trong toàn bộ hệ thống đệm kín: độ phẳng 0,0009 mm có nghĩa là sai lệch bề mặt chỉ bằng một phần rất nhỏ của sợi tóc người. Không có thao tác đơn lẻ nào đạt được điều này — mà là chuỗi quy trình phối hợp.
I. Tại sao là 0,0009 mm
Các mặt vòng đệm kín tiếp xúc theo kiểu phù hợp với một lớp màng lỏng dưới micron giữa chúng. Vượt quá yêu cầu về vạch sáng, vùng tiếp xúc bị phá vỡ, màng không giữ được và rò rỉ tăng lên. Đo lường kỹ thuật sử dụng vạch giao thoa: một vạch sáng tương ứng với nửa bước sóng ánh sáng, khoảng 0,0003 mm, nên 3 vạch có nghĩa là trong phạm vi 0,0009 mm.
II. Chuỗi ba giai đoạn
Mài ráp thô: Định hình hình học
Phôi sau khi ngâm tẩm và đóng rắn còn dư 0,1-0,5 mm trên mặt. Chất mài thô ở giai đoạn này nhằm vào hình học, không phải độ chính xác — song song và độ dày được đưa về dung sai cho mài ráp tinh nhanh chóng.
Mài ráp tinh: Đạt độ phẳng
1.Thiết bị: máy mài phẳng, vòng trong giá đỡ chuyển động hành tinh
2.Đĩa: gang, có rãnh — rãnh giúp phân phối bùn mài và thoát phoi, tránh nóng cục bộ
3.Chất mài: bột SiC hoặc kim cương siêu mịn, cấp độ được tinh chỉnh từng bước
4.Tham số: áp suất và tốc độ phù hợp với kích thước đĩa và vòng; áp suất quá lớn làm bo tròn mép
Đánh bóng: Giảm độ nhám
Giai đoạn cuối dùng bột siêu mịn W1-W3 để đánh bóng nhẹ đạt Ra 0,1-0,2 μm, loại bỏ vết xước siêu nhỏ còn lại từ mài ráp tinh — các vết xước siêu nhỏ là đường rò rỉ ban đầu.
III. Quản lý bùn mài và đĩa mài
1.Bùn mài thường là dung dịch nước có chất ức chế gỉ; độ nhớt và nồng độ kiểm soát phân bố chất mài
2.Đĩa được tái tạo định kỳ — độ phẳng đĩa được sao chép trực tiếp lên chi tiết; đĩa không phẳng không thể tạo ra vòng phẳng
3.Vệ sinh phoi không triệt để để lại hạt thô gây xước mặt trong giai đoạn mài tinh kế tiếp
IV. Kiểm tra độ phẳng: Ánh sáng đơn sắc và đĩa quang học
1.Ép đĩa quang học lên mặt vòng đệm, chiếu sáng bằng ánh sáng đơn sắc, đếm vạch giao thoa
2.Vạch thẳng dưới 3: đạt; vạch cong: sai lệch chiều cao — xác định lõm hay lồi và mài lại
3.Bề mặt tiếp xúc phải sạch bụi; một hạt bụi duy nhất tạo vạch giả
Huahao Sealing hoàn thiện toàn bộ chuỗi mài ráp và đánh bóng tại nhà máy Lu'an, Anhui, kiểm tra từng vòng dưới ánh sáng đơn sắc và ghi lại số vạch. 0,0009 mm không phải là cài đặt máy — mà là kỷ luật quy trình: tái tạo đĩa, thay đổi chất mài, vệ sinh. Bỏ qua bất kỳ mắt xích nào thì độ chính xác không thể đạt được.
