Huahao Sealing · Carbon Graphite Components
Huahao Sealing cung cấp vòng đệm và vòng bi than chì carbon siêu tinh khiết cho bán dẫn — bơm chân không khô, bơm chân không cơ học và vòng kín quay buồng plasma. Không rã kim loại, không mỡ bẩn, theo SEMI, cho chân không 10⁻⁹ Torr và khí ăn mòn (CF₄, SF₆).
Bơm chân không khô hoạt động ở 10⁻⁹ Torr; khí thoát kín bẩn quy trình wafer
Buồng plasma dùng khí CF₄, SF₆, ClF₃ ăn mòn vật liệu kín
Sản xuất wafer yêu cầu không ion kim loại; ion đồng sắt từ bạc kim loại gây lỗi chết
Sấy nhiệt (150-200°C) cùng tốc độ cao (4000-6000 rpm); kín mất ổn định nhiệt
Vật liệu than chì siêu tinh khiết, tro ≤0.002%, không rã kim loại, theo SEMI F57
Vật liệu resin impregnation không thoát khí, không mỡ bay hơi cho chân không siêu cao
Than chì trơ hóa học chịu CF₄, SF₆ và plasma flo ăn mòn
Ghép mặt SiC dẫn nhiệt cao tản nhiệt cho tốc độ cao và sấy nhiệt
| Vacuum Level | 10⁻⁹ Torr |
| Temperature | -20°C ~ 350°C |
| Speed | ≤ 6000 rpm |
| Media | CF₄, SF₆, ClF₃, N₂, Ar plasma |
| Ash Content | ≤ 0.002% |
| Standard | SEMI F57 |
Không. Vật liệu siêu tinh khiết tro ≤0.002% không rã kim loại, theo SEMI F57. Resin impregnation không thoát khí, không mỡ bay hơi cho 10⁻⁹ Torr.
Than chì trơ hóa học chịu CF₄, SF₆ và plasma flo. Nhưng plasma oxy hóa mạnh lâu có thể graphit hóa bề mặt; chọn vật liệu impregnation mật độ cao.
BIA series than chì tinh khiết cao ghép mặt SiC. SiC dẫn nhiệt cao tản nhiệt ma sát; tự bôi trơn giảm ma sát cho 6000 rpm.
Vật liệu resin impregnation không dư bay hơi sau sấy, ổn định. Vật liệu chống oxy hóa chịu 350-500°C, 200°C thấp hơn giới hạn, không ảnh hưởng.
