Huahao Sealing · Carbon Graphite Components
Huahao Sealing จัดหาแหวนซีลและแบริ่งกราไฟต์คาร์บอนความบริสุทธิ์สูงสำหรับกึ่งตัวนำ — ปั๊มสุญญากาศแห้ง ปั๊มสุญญากาศเชิงกลและซีลหมุนห้องพลาสมา ไม่รั่วไอออนโลหะ ไม่มีจารบีปนเปื้อน ตามมาตรฐาน SEMI ทนสุญญากาศ 10⁻⁹ Torr และก๊าซกัดกร่อน (CF₄, SF₆)
ปั๊มสุญญากาศแห้งทำงานที่ 10⁻⁹ Torr ก๊าซจากซีลปนเปื้อนกระบวนการเวเฟอร์
ห้องพลาสมาใช้ก๊าซกัดกร่อน CF₄, SF₆, ClF₃ ทำลายวัสดุซีลทางเคมี
การผลิตเวเฟอร์ต้องการไม่มีไอออนโลหะ ไอออนทองแดงและเหล็กจากแบริ่งโลหะก่อให้เกิดข้อบกพร่องร้ายแรง
การอบความร้อน (150-200°C) ควบคู่กับความเร็วสูง (4000-6000 rpm) ซีลไม่เสถียรทางความร้อน
วัสดุกราไฟต์คาร์บอนความบริสุทธิ์สูง เถ้า ≤0.002% ไม่รั่วไอออนโลหะ ตามมาตรฐาน SEMI F57
วัสดุ resin impregnation ไม่มีก๊าซออก ไม่มีจารบีระเหย สำหรับสุญญากาศสูง
กราไฟต์คาร์บอนเฉื่อยทางเคมี ทน CF₄, SF₆ และพลาสมาฟลูออรีนกัดกร่อน
จับคู่ผิว SiC นำความร้อนสูง ระบายความร้อนสำหรับความเร็วสูงและการอบ
| Vacuum Level | 10⁻⁹ Torr |
| Temperature | -20°C ~ 350°C |
| Speed | ≤ 6000 rpm |
| Media | CF₄, SF₆, ClF₃, N₂, Ar plasma |
| Ash Content | ≤ 0.002% |
| Standard | SEMI F57 |
ไม่ วัสดุบริสุทธิ์สูงเถ้า ≤0.002% ไม่รั่วไอออนโลหะ ตาม SEMI F57 resin impregnation ไม่มีก๊าซออก ไม่มีจารบีระเหย สำหรับ 10⁻⁹ Torr
กราไฟต์เฉื่อยทางเคมีทน CF₄, SF₆ และพลาสมาฟลูออรีน แต่พลาสมาออกซิไดเซอร์เข้มข้นนานอาจทำให้ผิวกราไฟต์; เลือกวัสดุ impregnation ความหนาแน่นสูง
BIA series กราไฟต์บริสุทธิ์สูงจับคู่ SiC SiC นำความร้อนสูงระบายความร้อนจากการเสียดสี ตัวหล่อลื่นตัวเองลดสัมประสิทธิ์การเสียดสี สำหรับ 6000 rpm
วัสดุ resin impregnation ไม่มีสารระเหยตกค้างหลังอบ เสถียร วัสดุป้องกันออกซิเดชันทน 350-500°C 200°C ต่ำกว่าขีดจำกัด ไม่กระทบ
ส่งพารามิเตอร์การทำงาน — วิศวกรตอบกลับการเลือกวัสดุและใบเสนอราคาภายใน 24 ชั่วโมง
