油润滑真空泵的油蒸汽污染真空系统与工艺产品,无法满足洁净真空要求
高真空(10⁻⁶ Torr)环境下密封件放气降低真空度,污染工艺
干式真空泵高转速(3000-6000 rpm)干摩擦产生大量热,密封件磨损快
高温烘烤除气工艺(200-350℃)使普通密封材料氧化、失弹
碳石墨自润滑免油运行,彻底消除油蒸汽污染,适配干式洁净真空系统
高纯度碳石墨牌号低放气率,适配10⁻⁶ Torr高真空环境
配对SiC端面高导热率散热,适应高转速干摩擦工况
抗氧化浸渍牌号耐温350℃,适配高温烘烤除气工艺
| Vacuum Level | 10⁻⁶ Torr |
| Temperature | -20°C ~ 350°C |
| Speed | ≤ 6000 rpm |
| Media | Air, N₂, Ar, process gases |
| Grade | M106K (Resin) / M106H (Sb) |
| Outgassing | Low (ASTM E595) |
碳石墨自润滑免油运行,彻底消除油蒸汽污染真空系统。高纯度牌号低放气适配10⁻⁶ Torr高真空,是干式洁净真空泵的理想密封材料。
推荐BIA系列碳石墨密封环配SiC端面。SiC高导热率快速散热,防止高速干摩擦热积聚;石墨自润滑降低摩擦系数,适配6000 rpm高速干运转工况。
抗氧化浸渍牌号耐温350℃,烘烤后性能稳定。树脂浸渍牌号经烘烤后无挥发物残留。两种牌号均适配真空泵烘烤除气工艺。
适用于旋片真空泵和罗茨真空泵。碳石墨旋片自润滑免油,配对铸铁或SiC缸体,在干摩擦工况下磨损率低,延长旋片更换周期至12个月以上。
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