Huahao Sealing · Carbon Graphite Components
干式真空泵在10⁻⁹ Torr超高真空下运行，密封件放气污染晶圆工艺
等离子刻蚀腔体使用CF₄、SF₆、ClF₃等腐蚀性工艺气体，密封材料被化学侵蚀
晶圆制造要求零金属离子污染，金属轴承的铜、铁离子析出致命缺陷
高温烘烤除气(150-200℃)与高转速(4000-6000 rpm)并存，密封件热失稳
超高纯度碳石墨牌号，灰分≤0.002%，无金属离子析出，满足SEMI F57标准
树脂浸渍牌号无放气、无油脂挥发，适配超高真空环境
碳石墨化学惰性耐受CF₄、SF₆等氟等离子体化学侵蚀
配对SiC端面高导热率散热，适应高转速与高温烘烤工况
| Vacuum Level | 10⁻⁹ Torr |
| Temperature | -20°C ~ 350°C |
| Speed | ≤ 6000 rpm |
| Media | CF₄, SF₆, ClF₃, N₂, Ar plasma |
| Ash Content | ≤ 0.002% |
| Standard | SEMI F57 |
不会。超高纯度碳石墨牌号灰分≤0.002%，无金属离子析出，符合SEMI F57标准。树脂浸渍牌号无放气、无油脂挥发，适配10⁻⁹ Torr超高真空环境。
碳石墨化学惰性强，耐受CF₄、SF₆等氟等离子体化学侵蚀。但强氧化性等离子体长期作用可能使表面石墨化，建议选用高密度浸渍牌号提升耐久性。
推荐BIA系列高纯度碳石墨密封环配SiC端面。SiC高导热率快速散热，防止高速摩擦热积聚；石墨自润滑降低摩擦系数，适配6000 rpm高速工况。
树脂浸渍牌号经高温烘烤后无挥发物残留，性能稳定。抗氧化浸渍牌号耐温350-500℃，200℃烘烤远低于其耐温上限，性能不受影响。
提交工况参数，工程师 24 小时内回复选型建议与报价。
